EH 機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
· 半導(dǎo)體制程
· 真空蒸餾
· 真空包裝
· 鋼脫氣
· 薄膜覆層
· 真空冶金
· 低密度風(fēng)洞
· 空間模擬
· 真空浸漬
· 油干燥和脫氣
· 制藥冷凍干燥
· CO2 激光
功能和優(yōu)勢(shì)
· 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。
· 它可在相對(duì)較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
· EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:
o 安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。
o 牢靠且防腐蝕。
o 先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染
· 防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級(jí)鑄鐵制造。
· 經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到最低。
· 軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤(rùn)滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
· 動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
|
EH250
|
EH500
|
EH1200
|
EH2600
|
EH4200
|
排量(工作容積)
|
310 m3h-1 / 185 ft3min-1
|
505 m3h-1 / 300 ft3min-1
|
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
|
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
|
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
|
使用前級(jí)泵時(shí)的有效抽速
|
240 m3h-1 / 141 ft3min-1
|
350 m3h-1 / 206 ft3min-1
|
840 m3h-1 / 495 ft3min-1
|
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
|
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
|
泵的壓力差
|
0-180 mbar/0-140 Torr
|
0-110 mbar/0-83 Torr
|
0-90 mbar/0-68 Torr
|
0-80 mbar/0-60 Torr
|
0-60 mbar / 0-45 Torr
|
進(jìn)氣口連接
|
ISO63
|
ISO100
|
ISO160
|
ISO160
|
ISO250
|
出口連接
|
ISO40
|
ISO63
|
ISO100
|
ISO100
|
ISO100
|
轉(zhuǎn)速
|
0-2900 rpm
|
0-2900 rpm
|
0-2900 rpm
|
0-2900 rpm
|
0-2900 rpm
|
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力
|
0-1000 mbar/0-760 Torr
|
0-1000 mbar/0-760 Torr
|
0-1000 mbar/0-760 Torr
|
0-1000 mbar/0-760 Torr
|
0-1000 mbar/0-760 Torr
|
最大出口壓力
|
1000 mbar/760 Torr
|
1000 mbar/760 Torr
|
1000 mbar/760 Torr
|
1000 mbar/760 Torr
|
1000 mbar/760 Torr
|
推薦的前級(jí)泵
|
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
|
GV80,E2M80
|
GV160、GV250、
E2M80、E2M175
|
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
|
GV400、E2M275
|
電機(jī)功率
|
|
|
|
|
|
碳?xì)浠衔?/span>
|
2.2 kW / 3 hp
|
2.2 kW/3 hp
|
3 kW/4 hp
|
11 kW/15 hp
|
11 kW/15 hp
|
PFPE
|
1.5 kW / 2 hp
|
1.5 kW/2 hp
|
3 kW/4 hp
|
7.5 kW/10 hp
|
11 kW/15 hp
|
ATEX
|
2.2 kW
|
2.2 kW
|
3 kW
|
11 kW
|
11 kW
|
防爆
|
3 hp
|
3 hp
|
4 hp
|
15 hp
|
15 hp
|
環(huán)境溫度范圍
|
|
|
|
|
|
工作
|
5 至 40°C/40 至 104°F
|
5 至 40°C/40 至 104°F
|
5 至 40°C/40 至 104°F
|
5 至 40°C/40 至 104°F
|
5 至 40°C/40 至 104°F
|
存儲(chǔ)
|
-10 至 80°C/14 至 176°F
|
-10 至 80°C/14 至 176°F
|
-10 至 80°C/14 至 176°F
|
-10 至 80°C/14 至 176°F
|
-10 至 80°C/14 至 176°F
|
最大工作濕度
|
90% RH
|
90% RH
|
90% RH
|
90% RH
|
90% RH
|
推薦用油
|
Ultragrade 20
|
Ultragrade 20
|
Ultragrade 20
|
Ultragrade 20
|
Ultragrade 20
|
油容量
|
|
|
|
|
|
齒輪箱
|
|
|
1.25 l/1.3 qt
|
3.5 l/3.3 qt
|
3.5 l/3.3 qt
|
聯(lián)軸器蓋
|
1.5 l/1.6 qt
|
1.5 l/1.6 qt
|
1.5 l/1.6 qt
|
6.5 l/7 qt
|
6.5 l/7 qt
|
軸封儲(chǔ)油器
|
0.125 l/0.25 qt
|
0.125 l/0.25 qt
|
0.125 l/0.25 qt
|
1.5 l/1.4 qt
|
1.5 l/1.4 qt
|
重量
|
61 kg/134 lb
|
74 kg/163 lb
|
74 kg/163 lb
|
308 kg/679 lb
|
400 kg / 882 lb
|