EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應(yīng)用
· 半導體制程
· 真空蒸餾
· 真空包裝
· 鋼脫氣
· 薄膜覆層
· 真空冶金
· 低密度風洞
· 空間模擬
· 真空浸漬
· 油干燥和脫氣
· 制藥冷凍干燥
· CO2 激光
功能和優(yōu)勢
· 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。
· 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
· EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
o 安靜的無振動運行。
o 牢靠且防腐蝕。
o 先進的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
· 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
· 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到最低。
· 軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
· 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
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EH250
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EH500
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EH1200
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EH2600
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EH4200
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排量（工作容積）
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310 m3h-1 / 185 ft3min-1
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505 m3h-1 / 300 ft3min-1
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1195 m3h-1 / 715 ft3min-1
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2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1
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4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
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使用前級泵時的有效抽速
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240 m3h-1 / 141 ft3min-1
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350 m3h-1 / 206 ft3min-1
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840 m3h-1 / 495 ft3min-1
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1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1
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3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
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泵的壓力差
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0-180 mbar/0-140 Torr
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0-110 mbar/0-83 Torr
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0-90 mbar/0-68 Torr
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0-80 mbar/0-60 Torr
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0-60 mbar / 0-45 Torr
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進氣口連接
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ISO63
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ISO100
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ISO160
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ISO160
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ISO250
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出口連接
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ISO40
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ISO63
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ISO100
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ISO100
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ISO100
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轉(zhuǎn)速
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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0-2900 rpm
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連續(xù)進氣口工作壓力
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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0-1000 mbar/0-760 Torr
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最大出口壓力
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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1000 mbar/760 Torr
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推薦的前級泵
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GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
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GV80，E2M80
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GV160、GV250、
E2M80、E2M175
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GV250、GV400、
E2M175、E2M275
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GV400、E2M275
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電機功率
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碳氫化合物
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2.2 kW / 3 hp
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2.2 kW/3 hp
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3 kW/4 hp
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11 kW/15 hp
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11 kW/15 hp
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PFPE
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1.5 kW / 2 hp
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1.5 kW/2 hp
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3 kW/4 hp
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7.5 kW/10 hp
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11 kW/15 hp
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ATEX
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2.2 kW
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2.2 kW
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3 kW
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11 kW
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11 kW
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防爆
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3 hp
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3 hp
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4 hp
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15 hp
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15 hp
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環(huán)境溫度范圍
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工作
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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5 至 40°C/40 至 104°F
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存儲
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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-10 至 80°C/14 至 176°F
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最大工作濕度
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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90% RH
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推薦用油
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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Ultragrade 20
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油容量
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齒輪箱
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1.25 l/1.3 qt
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3.5 l/3.3 qt
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3.5 l/3.3 qt
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聯(lián)軸器蓋
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1.5 l/1.6 qt
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1.5 l/1.6 qt
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1.5 l/1.6 qt
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6.5 l/7 qt
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6.5 l/7 qt
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軸封儲油器
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0.125 l/0.25 qt
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0.125 l/0.25 qt
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0.125 l/0.25 qt
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1.5 l/1.4 qt
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1.5 l/1.4 qt
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重量
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61 kg/134 lb
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74 kg/163 lb
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74 kg/163 lb
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308 kg/679 lb
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400 kg / 882 lb
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蘇公網(wǎng)安備 32010202010716號
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