技術(shù)參數(shù)
量測(cè)行程(X、Y、Z) 620x720x200mm
載物臺(tái)尺寸 705x505mm
儀器外型尺寸(長(zhǎng)X寬X高) 1080x1240x1960mm
凈重 640kg
工作臺(tái)承重 25kg
操作方式 鼠標(biāo)或游戲桿(選配)
光源 LED底部光源與24區(qū)多區(qū)段表面光源
最大移動(dòng)速度:X、Y 180mm/sec
最大移動(dòng)速度:Z 120mm/sec
放大倍率 0.7X~4.5X(17.5X~112.5X)
量測(cè)軟件 自主研發(fā)多功能影像量測(cè)軟件
量測(cè)分辨率 0.5μm
量測(cè)精度 (3+L/200) μm
重復(fù)精度 3μm
計(jì)算機(jī)配備 高性能主機(jī)+19寸顯示器
產(chǎn)品應(yīng)用 可快速檢測(cè)各種復(fù)雜、精密零件之輪廓、表面尺寸、角度與位置，特別是精密零部件的微觀檢測(cè)與質(zhì)量控制，并可用于產(chǎn)品開發(fā)、二維抄數(shù)等領(lǐng)域。適用如下之產(chǎn)業(yè) 1. 半導(dǎo)體 如光罩、晶圓、系統(tǒng)芯片、互補(bǔ)式金屬氧化半導(dǎo)體等 2. 封裝組件 如 tsop、sop、qfp、bga 等 3. pcb 產(chǎn)品 如 ic 板、模塊電路板、軟性電路板等 4. tft 液晶屏幕 如背光板、lcm、bul 等 5. 電子產(chǎn)品 如測(cè)試座，多層陶瓷基版、電感、電容、電子組件等 6. 橡塑料 如 o 型環(huán)、相機(jī)組件、連接器等 7. 沖壓產(chǎn)品 如導(dǎo)線架、馬達(dá)鐵芯、精密金屬板金、鐘表零件、彈簧等 8. 精度零件 如精密模具、刀具、機(jī)械零件等 9. 光學(xué)通訊零組件、陶瓷套圈、光傳感器等 10. 航天航空、高等院校、科研機(jī)構(gòu)等
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